数据显示，2021年10月我国半导体制造设备进口量为7022台，进口额为1714910万元；1-10月累计进口量为72490台，累计进口额为17991107万元；10月进口量同比增长51.1%，进口额同比增长13.9%；1-10月进口量累计同比增长52.5%，进口额累计同比增长23.9%。
2021年10月我国半导体制造设备进口情况（单位：万元人民币、台）
| 进口 |
10月 |
1-10月累计 |
比去年同期±% |
累计比去年同期±% |
|||||
| 数量 |
金额 |
数量 |
金额 |
数量 |
金额 |
数量 |
金额 |
||
| 半导体制造设备 |
半导体制造设备 |
7022 |
1714910 |
72490 |
17991107 |
51.1 |
13.9 |
52.5 |
23.9 |
| 制造单晶柱或晶圆用的机器及装置 |
289 |
85908 |
3263 |
791849 |
1.8 |
23.2 |
72.9 |
55.3 |
|
| 制造半导体器件或集成电路用的机器及装置 |
1186 |
953663 |
13168 |
11127511 |
25.9 |
18.5 |
39.7 |
39.8 |
|
| 制造平板显示器用的机器及装置 |
443 |
343153 |
6198 |
3216167 |
-6.9 |
-21.3 |
11.5 |
-19.4 |
|
数据来源：海关总署（shz）
相关行业分析报告《2021年中国半导体制造设备行业分析报告-市场竞争策略与发展规划趋势》
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