| 设备类型 |
清洗方法 |
适用场合 |
| 单晶圆清洗设备 |
旋转喷淋 |
全生产流程 |
| 自动清洗台 |
溶液浸泡 |
全生产流程 |
| 洗刷台 |
旋转喷淋 |
锯晶圆、晶圆磨薄、晶圆抛光、研磨、CVD |
| 超音波清洗设备 |
超声清洗 |
半导体前道各阶段 |
| 晶圆盒清洗设备 |
机械擦拭 |
晶圆盒清洗 |
| 等离子体清洗设备 |
等离子体清洗 |
光刻胶去除 |
| 企业名称 |
具备技术 |
在研技术 |
| 盛美半导体 |
28-130 |
14 |
| 北方华创 |
28-130 |
14 |
| 至纯科技 |
28-130 |
14 |
| 芯源徽 |
14-130 |
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