| 压力 |
压力范围 |
适用范围 |
| 粗/低真空 |
760-10 -3Torr |
食品行业、化工行业、冷冻干燥、轻工行业、制药行业、导电（真空放电灯具） |
| 高真空 |
10-3-10-8Torr |
冶炼、真空热处理&真空焊接、集成电路&半导体制造、各种镀膜工艺、各种表面加工工艺、化学研究、离子注入、隔离作用（绝热） |
| 超高真空 |
10-8-10-12Torr |
空间模拟、材料科学分析、物理现象研究、表面分析、高纯材料制备 |
真空泵是真空成套设备必不可少的基础产品，自改革开发以来，我国真空技术不断提高。真空泵虽然需求面广，产量很大，但在泵的总产量中的比例不高。2020年中国真空泵产量为526.64万台，占全国泵总产量的2.88%。
由于目前我国真空泵更多应用在中低端领域，因此我国真空泵虽出口量远大于进口量，但出口金额却不及进口金额。此外，近两年我国真空泵出口数量呈下降态势，2020年真空泵出口数量为935.7万台，同比下降4.1%，出口额为3.07亿美元，同比下降6.1%。近几年，我国正空泵进口数量波动明显，2020年进口量为227万台，同比下降8%，进口额为8.09亿美元，同比下降6.7%。
| 企业名称 |
经营状况 |
| 爱德华（Edward） |
爱德华属于Atlas Copco，于2014年被收购，可提供油润滑螺杆泵、旋片泵、滑阀泵、干爪泵等一站式真空解决方案，在半导体真空泵领域，爱德华市占率超50%，是绝对的龙头，公司在青岛设厂，2018年二期投入运营，主要生产半导体用高端真空泵 |
| 荏原制造所（Ebara） |
公司从事以泵等旋转机械为中心的开发活动，成立于1912年。公司经营三个部分：流体机械和系统，环境工程和精密机械。其流体机械和系统部门从事制造、销售、运营和维护服务业务；产品包括泵、压缩机、涡轮机、制冷设备和风扇。精密机械部门从事制造、销售和维护，产品包括干式真空泵、化学机械抛光系统、电镀系统和气体减排系统 |
| 樫山工业株式会社（Kashiyama） |
公司多年来致力于真空技术的研究，主要产品包括海水泵、水封式真空泵、干式真空泵、炉石真空泵。公司生产的真空设备已被广泛应用于包括半导体制造业和液晶显示制造业的高科技领域中 |
| 沈阳科仪 |
公司是一家集真空仪器装置研发、生产、销售、服务为一体的高科技企业，其前身是中国科学院沈阳科学仪器研制中心，创建于1958年。主要研发生产各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、单晶炉、太阳能光伏设备、集成电路装备、大科学工程装备、无油真空获得系统集成 |
| 汉钟精机 |
公司具备专业超高精度螺杆设计加工技术，螺杆转子具有更短的抽气路径、更少的密封面，能更有效地处理严苛制程，并延长使用寿命，同时具备半导体专有纳米陶瓷涂层，能更好地处理腐蚀气体、粉尘及粘稠物质。公司正积极在国内半导体产业扩大推广，通过台湾汉钟在半导体产业的成功案例，已成功通过国内多家大型半导体企业的验证，目前与北京、深圳、上海等多家半导体设备企业展开合作。另外，在芯片工程方面也在同步展开销售，如无锡、江阴、上海等企业 |
半导体工业是真空泵非常重要的应用领域，是当前主要的增长动力，2019年在全球真空市场中，半导体领域市场规模占总体规模的38%。半导体真空泵随着功能和电路尺寸的减小，半导体制造中的工艺步骤数量将继续增加，从而导致真空设备需求的增加。此外，全球显示面板产能由日韩向国内转移，将对国内的半导体真空泵行业的发展起到一定的推动作用。
《2021年中国真空泵市场分析报告-市场现状调查与发展战略规划》
《2020年中国真空泵市场现状分析报告-市场深度分析与发展趋势分析》
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