半导体陶瓷加热器行业：市场被寡头垄断 中国面临“卡脖子”困境

前言：

近年来，随着全球对高效、节能、环保产品的需求不断增加，半导体陶瓷加热器市场呈现增长态势。由于陶瓷加热器应用的薄膜沉积设备涉及到高温，氮化铝为陶瓷加热器应用主流。从产品类型来看，8寸是目前氮化铝陶瓷加热器最主要的细分产品。随着技术提高和成本降低，氮化铝陶瓷加热器有望逐步替代传统的加热元件。全球半导体陶瓷加热器生产商以日本、美国和韩国企业为主，整体市场集中度较高；国内市场也基本上由国外企业垄断，尽管国内已有部分企业积极研发布局，但目前实现量产企业仍极少，陶瓷加热器的自主水平及国产化率较低，面临“卡脖子”困境。

一、半导体陶瓷加热器具有节能、高效、环保等优势，全球市场呈现增长态势

根据观研报告网发布的《中国半导体陶瓷加热器行业发展现状分析与投资前景研究报告（2025-2032年）》显示，陶瓷加热器是半导体薄膜沉积等设备中的重要部件，可实现均匀温度分布，对晶圆均匀加热，使衬底表面上进行高精度的反应并生成薄膜。

半导体陶瓷加热器具有极高的能效比，能够将电能高效地转换为热能，从而降低能耗，减少能源浪费。其次，半导体陶瓷加热器在加热过程中不会产生有害物质，符合环保要求。此外，由于其采用陶瓷材料制成，具有极高的耐高温性能和抗腐蚀性，因此使用寿命相对较长，减少了更换和维护的频率，降低了使用成本。

近年来，随着全球对高效、节能、环保产品的需求不断增加，半导体陶瓷加热器市场呈现增长态势。2018-2022年全球半导体陶瓷加热器市场规模CAGR达7.8%；预计2029 年全球半导体陶瓷加热器市场规模将达20.1 亿美元，2022-2029 年复合增长率为5.9%。

数据来源：观研天下数据中心整理

二、氮化铝陶瓷加热器主导地位将不断稳固，目前8寸氮化铝陶瓷加热器为主要细分产品

按材料分类，半导体陶瓷加热器分为氧化铝(Al2O3)、氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷加热器等。

其中，氮化铝陶瓷加热器是一种采用氮化铝陶瓷材料制成的加热器件，具有优异的热导性、电绝缘性和化学稳定性。由于陶瓷加热器应用的薄膜沉积设备涉及到高温，氮化铝为陶瓷加热器应用主流。2021年，全球氮化铝陶瓷加热器占比达63.42%。从产品类型来看，8寸是目前氮化铝陶瓷加热器最主要的细分产品，2023年市场份额达45.9%。

数据来源：观研天下数据中心整理

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随着半导体技术的不断发展和市场需求的变化，未来可能会有更多尺寸的产品涌现，以满足不同领域的需求。随着技术的不断提高和成本的不断降低，氮化铝陶瓷加热器的性能和价格将更加优越，有望逐步替代传统的加热元件。预计2029年全球半导体用氮化铝陶瓷加热器市场规模达到8.9 亿美元，2023-2029年复合增长率为6.2%。

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三、全球半导体陶瓷加热器市场呈寡头垄断格局，中国自主水平及国产化率较低

全球半导体陶瓷加热器生产商以日本、美国和韩国企业为主，国外企业占据高端产品主要市场。全球范围内半导体陶瓷加热器生产商主要包括住友电工、京瓷集团、日本碍子、BACH Resistor Ceramics、Mico Ceramics 等，2022 年，全球前五大厂商占有大约91.0%的市场份额，整体市场集中度较高。

全球半导体陶瓷加热器行业代表企业

企业名称	简介
住友电工	住友电气工业株式会社创立于1897年4月，通过将其专有的高性能材料技术与工艺技术（例如金属化，连接，密封）和热设计技术相结合，提供具有优异热特性的热控制设备。这些技术应用于半导体制造设备的加热器，实现了优异的温度均匀性和快速的加热和冷却特性。2021年1月，开发出用于半导体制造工艺中前段制程（在硅晶圆上形成电路的工序）的高精度温度分布控制系统SumiTune™，SumiTune™由分为6个区域的加热器（SumiTune™ Heater）以及能够对这6个区域进行高效且高精度的功率控制的控制器（SumiTune™ Controller）构成。
BoBoo Hitech	BoBoo Hitech是1994年3月成立的半导体生产设备的部件开发/制造专业企业。自主开发和供应半导体生产所需的CVD工艺核心部件加热器及其相关部件。
CoorsTek	CoorsTek, Inc.于 1910 年在美国注册成立，是全球领先的先进陶瓷制造商，在全球拥有超过 50 家工厂，为航空航天、汽车、化学、电子、医疗、冶金、石油天然气、半导体等众多行业提供先进陶瓷。CoorsTek开发的Cercom® 氮化铝加热器确保一致的热量分配和持久可靠的性能，支持150mm-450mm尺寸规格。
SemiXicon	SemiXicon总部位于硅谷，为全球半导体、光子学和医疗等行业提供精密陶瓷加工和装配解决方案，其核心技术为半导体晶圆处理卡盘台，如多孔陶瓷真空卡盘台、SSiC、SiSiC 针式卡盘和 ESC 和陶瓷加热器。
KSM Component Co., Ltd.	KSM Component成立于2004年，是专门制造金属和陶瓷加热器的公司，向客户提供金属焊接波纹管、磁流体密封、全氟密封圈三位一体的密封解决方案，还供应加热器以及各种半导体、平板显示产业用Sub Assembly。KSMC提供最高品质的金属、陶瓷加热器，用于半导体CVD、Etch等工艺。
WONIK QnC	WONIK QnC创立于1983年，是一家专门制造和供应生产半导体晶圆所使用的石英部件和生产半导体及显示器所使用的陶瓷部件的复合材料零部件专业公司。陶瓷事业部可以生产多种材料(Al2O3, Y2O3, YAG, SiC, AlN, Si3N4, ZrO2, BN), 拥有功能性陶瓷零部件(ESC, Heater, Wafer Table)生产的全套工艺。陶瓷事业部提供半导体、OLED、汽车等领域所需的精密陶瓷零部件综合解决方案。

资料来源：观研天下整理

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国内市场也基本上由国外企业垄断，尽管国内已有部分企业积极研发布局，但目前实现量产企业仍极少，陶瓷加热器的自主水平及国产化率较低，是“卡脖子”技术。

我国半导体陶瓷加热器行业代表企业

企业名称	简介
深圳市商德先进陶瓷股份有限公司	深圳市商德先进陶瓷股份有限公司成立于2006年，经过多年的研发逐渐打破国外垄断，生产的陶瓷吸嘴、轴承轴套、加热台、劈刀等产品广泛应用于世界一线的半导体设备商和电子制造企业中。深圳商德拟在安徽巢湖经开区投资建设半导体陶瓷材料项目，主要建设陶瓷劈刀、多层共烧陶瓷的生产车间及研发中心。陶瓷加热器（盘）主要材料是AlN，和复杂的钨电路烧结而成，热响应速度快及温度均匀，且可集成温度传感器，应用于半导体行业中，晶圆工艺设备中。
河北中瓷电子科技股份有限公司	河北中瓷电子科技股份有限公司成立于2009年8月6日，是专业从事电子陶瓷系列产品研发、生产和销售的高新技术企业，致力于成为世界一流的电子陶瓷产品供应商。2022年中瓷电子布局精密陶瓷零部件领域，助力半导体设备零部件国产化。中瓷电子开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，实现了关键零部件的国产化，已批量应用于国产半导体关键设备中。
苏州珂玛材料科技股份有限公司	苏州珂玛材料科技股份有限公司成立于2009 年 4 月 27 日，是国内半导体设备用先进陶瓷材料零部件的头部企业。依托领先的材料能力和丰富的加工制造工艺，其先进陶瓷材料零部件的下游领域覆盖较为广阔。先进陶瓷主要应用于晶圆制造前道工艺设备，目前已进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散设备，并批量应用于14nm和28nm制程设备和生产过程中。半导体设备用先进陶瓷包括圆环圆筒、承重、手爪和模块等类型。在陶瓷加热器方面，苏州珂玛通过承担国家“02 专项”之“PECVD 设备用陶瓷加热盘的关键技术与产业化”项目课题以及多年研发，目前已探索形成陶瓷加热器自主可控的生产能力，相关产品目前正在客户验证中。
中山市思考电子科技有限公司	中山市思考电子科技有限公司成立于2016年，由深圳总公司扩迁至中山，厂房面积约9000平方米。拥有14余年专注从事半导体晶圆划片刀、陶瓷真空工作盘、CVD静电吸盘、电木橡胶吸咀等半导体耗材经验。2012年开始自主研发氮化铝加热器、ESC静电吸盘项目，2022年静电卡盘事业部已掌握氮化铝陶瓷高温共烧技术，目前氮化铝加热器已面市，开始批量交付客户使用；ESC静电吸盘已进入装配测试阶段。思考电子自主研发氮化铝陶瓷加热器规格尺寸可根据客户需要定做。

资料来源：观研天下整理（zlj）