自“02专项”开展以来，中国本土半导体设备企业奋力追赶，一大批华裔科学家也回国创业支持国产半导体设备发展，诞生了一批优秀的企业，同时，通过国际并购，也加强了自身实力。到目前为止，国产半导体设备在整个半导体制造和封测产业链上布局相对完整。并且在刻蚀、薄膜、检测、清洗和测试等方面有所突破。
图表：国产半导体设备及零部件布局相对完整
图表来源：公开资料整理
近年来，中国对集成电路设备的需求高速增长，2018年有望达到113亿美元，同比2017年增长49.28%。国产半导体设备制造企业的销售额也快速增长，2013-2016年间，CAGR达到23.68%，2016年销售额达到约57亿元。但是，这个数据里，包含了分立元器件设备、LED设备、PV设备和集成电路设备，2016年集成电路设备的销售额约为28亿元人民币，相比起来，2016年，中国集成电路设备总的需求为64.6亿美元，国产设备占比不足8%。
可见，国产半导体设备企业虽然多，但是并不强，销售额占比在国内市场还不足10%，在国际市场更是几乎为0。究其原因，还是技术上的落后。目前国产半导体设备处于局部有所突破，但整体较为落后的状态。尤其与国际半导体设备巨头应用材料、ASML、LAMResearch、KLA-Tencor等相比，国产半导体设备公司的实力仍然偏弱，绝大部分企业无法达到国际上已经实现量产的10nm工艺。部分企业突破到28nm或14nm工艺，但在使用的稳定性上仍然与国际巨头差距较大，很难批量进入量产线，也很难进入国际代工巨头的生产线。
图表：中国集成电路设备需求快速增长，2018年有望达到113亿美元
图表来源：公开资料整理
参考观研天下发布《 2018年中国半导体市场分析报告-行业深度调研与发展趋势预测 》
图表：国产半导体设备销售规模快速增长（元）
图表来源：公开资料整理
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