2018年中国激光行业技术类型解析 激光切割无机械应力破坏且效率较高 激光修复提高修复效率与准确率（图）

       柔性切割与划线以及异形切割：柔性切割现阶段采用超快紫外激光器。 激光切割机的工作原理是利用 355nm 紫外短波长激光束扫描在表面，使高 能量的紫外光子直接破坏柔性材料表面的分子键，达到去除材料的目的。紫 外激光加工属于"冷加工"，这种"冷"光刻蚀出来的部件热影响区小，具有光滑 的边缘和最低限度的碳化，能保证加工出来的产品质量最优。可以这么说， 异形切割是一种要求无限精细的高端切割技术，而能够支撑这种技术发展的正 是激光切割。有别于传统的刀具切割，激光切割利用高功率密度激光束照射被 切割材料，使材料很快被加热至汽化温度，蒸发形成孔洞，随着光束对材料的 移动，孔洞连续形成宽度很窄的(如 0.1mm 左右)切缝，完成对材料的切割。
       
       使用紫外激光器主要优点有以下四个：1）激光加工方式为非接触式加 工，加工过程中部件热影响区小；2）高性能紫外激光器，工作时聚焦光斑 小、功率分布均匀、热效应小、切缝宽度小、切割质量高；3）采用精密二 维工作台和全闭环数控系统，确保在快速切割的同时保持微米量级高精度；4）位置传感器和 CCD 影像定位技术，自动定位、对焦，使定位快速准确， 省时省心，效率高。
       
       综合这些优点，超快激光因其具有超快速度和超高峰值等特性，获得传 统激光无法比拟的高精度、低损伤等效果，比传统刀轮切割优势更为明显， 也将是未来柔性切割的主要方式。
       
       相比之下，当前的异形切割方式主要有两种：刀轮切割和激光切割。刀 轮切割属于机械加工，没有高温问题，不会导致框边黄化与热点缺口，但成 品较粗糙，容易改变玻璃本身的应力特性，且工序复杂，相对于激光切割来 说良率较低，不适用于精细的玻璃、蓝宝石等材料的加工。这种方案会导致 崩边严重。由于刀轮切割需要预留切割线，相比激光切割，刀轮切割对于整 个 Panel 的利用率会下降 10-20%，切割一片需要 2-3 分钟。
       
       而激光切割是非接触性加工，无机械应力破坏，且效率较高。同样的两 个 C 角，两个 R 角，一个 U 槽的加工方案，20 秒左右就可以完成切割。由 于激光切割的原理是将激光聚焦到材料上，对材料进行局部加热直至超过熔 点，然后用高压气体将熔融的金属吹离，随着光束与材料的移动，形成宽度 非常窄的切缝。激光切割的精度可以达到 20um。
       因此相比之下，激光切割在异形切割方面的优势明显，行业中全面屏异 形切割主要采用的是激光切割方案。
        

 

       此外，激光退火、激光剥离、激光修复都是面板领域重要应用LTPS 的激光结晶化（退火）：准分子激光器与紫外激光器是退火系统 所必需的器件。光结晶化技术尤其是准分子激光退火（ELA）技术目前在小 尺寸应用方面已经较为成熟，全球已经量产的 AMOLED 产品基本都使用了 ELA 技术。
       

 

       参考观研天下发布《 2018年中国激光行业分析报告-市场运营态势与投资前景研究 》
       
       激光剥离：在柔性显示器制造中，可能会使用电子纸（电泳），液晶（LC） 或者有机光发射二极管（OLED）作为基础，大量的激光工艺被用来实现每 一层的有效结构直到最后切割和标记。在显示器制造的激光加工步骤之一是 在塑料基底上的激光剥离（LLO），用于释放最后来自临时刚性载体基板的 柔性显示器。相干是现阶段全球准分子激光器是唯一供应商，韩国 OLED 激 光设备厂商的准分子激光器也是采购自相干，设备单价高达数千万。
        

 

       激光修复：OLED 面板在完成老化制程后，需要对其显示显示缺陷进行 检查标记，并对可修复的显示缺陷进行修复。
       
       首先，将 OLED 面板用真空固定于真空吸附平台上；然后，用点灯系统 将 OLED 面板点亮，此时，通过点亮的 OLED 基板，可确定可修复性的显 示缺陷的大致位置，并对显示缺陷予以标记；第三步，调节显示缺陷检查装 置的可调节平台使显微镜移至上一步所标记的显示缺陷的正上方，调节显微 镜对显示缺陷进行准确定位，并通过显示装置获取显示缺陷的图像信息；第 四步，将激光发生器打开，在显示装置的实时监控和指导下，利用发射的激 光束对显示缺陷进行精准修复。
        
       使用激光修复 OLED 面板显示缺陷的优点：通过将激光发生器的激光头 与显示缺陷检查装置的显微镜镜头重叠，避免了对 OLED 面板显示缺陷的重 复定位，显示缺陷检查到后，无需移动 OLED 面板即可直接进行修复，不但 提高修复效率，同时提高 OLED 面板显示缺陷的修复的准确率。