一、电子级氢氟酸是湿电子化学品的重要组成部分,其在多个高科技领域发挥着关键作用
电子级氢氟酸是湿电子化学品的重要组成部分,亦被称为高纯度氢氟酸,是氟化氢的水溶液,为无色透明液体,在25℃、浓度50%的条件下密度为1.15g/ml。该物质具有强烈腐蚀性,可腐蚀金属、玻璃、混凝土等物质,其蒸气带有刺激性,若接触皮肤会引发严重烧伤且难以治愈,接触后需立即用大量水冲洗,随后及时就医;使用过程中需佩戴好防护用具,严防吸入呼吸道。此外,电子级氢氟酸还具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期短等特点。
根据观研报告网发布的《中国电子级氢氟酸行业现状深度研究与发展前景预测报告(2026-2033年)》显示,凭借其高纯度与强腐蚀性,电子级氢氟酸在多个高科技领域发挥着关键作用。如在集成电路制造中,它主要用于晶圆表面清洗及芯片蚀刻工序,常与过氧化氢、氨水、硝酸、醋酸等化学品配伍使用,以实现高效加工。在液晶显示屏领域,电子级氢氟酸承担着玻璃基板的清洗任务,确保基板表面洁净度。在太阳能光伏领域,它则应用于硅片表面清洗,助力提升太阳能电池的转换效率。此外,电子级氢氟酸还可作为分析试剂、原子能工业化学试剂,以及高纯含氟化学品制备的重要原料。目前,电子级氢氟酸核心应用聚焦于集成电路制造、液晶面板制造及太阳能电池制造三大行业。
根据纯度不同,电子级氢氟酸可分为EL、UP、UPS、UPSS、UPSSS五个等级,以适配不同领域、不同工艺的应用需求。其中,UP级和UPS级凭借其均衡的纯度与性价比,目前在行业内应用最为广泛。
电子级氢氟酸分为EL、UP、UPS、UPSS、UPSSS五个等级
| 指标 | EL | UP | UPS | UPSS | UPSSS |
| SEMI标准 | C1(Grade1) | C7(Grade2) | C8(Grade3) | C12(Grade4) | Grade5 |
| BV标准 | — | BV-III | BV-IV | BV-V | BV-VI |
| 金属杂质(μg·L-1) | ≤1 | ≤10 | ≤1 | ≤0.1 | ≤0.01 |
| 控制粒径(μm) | ≤1.0 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.2 | — |
| 颗粒(个·mL-1) | ≤25 | ≤25 | ≤5 | — | — |
| 适应IC线宽范围 | >1.2μmIC技术的制作 | 0.8-1.2μmIC技术的制作 | 0.2-0.6μmIC技术的制作 | 0.09-0.2μmIC技术的制作 | <0.09μmIC技术的制作 |
| 使用IC集成度 | — | 1MB,4MB | 16MB,64MB,256MB | 1GB,4GB,16GB | 64GB |
| 应用领域 | 光伏太阳能电池 | 分立器件 | 平板、LED / 微机电系统、集成电路 | 大规模集成电路 | 超大规模集成电路 |
资料来源:公开资料,观研天下整理
二、下游半导体和光伏两大领域驱动,电子级氢氟酸的需求呈现快速增长态势
当前,我国电子级氢氟酸的需求正经历快速增长。据行业预测,2029年我国电子级氢氟酸消费量将达77.4万吨,2024-2029年期间年复合增长率预计为14.4%。这一增长态势主要由半导体和光伏两大核心应用领域共同驱动,具体如下:
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半导体领域:随着国内12英寸晶圆厂在28nm及以上工艺节点实现大批量供货,并向28nm以下先进制程稳步推进,市场对电子级氢氟酸(尤其是G4/G5级)的需求持续攀升。据预测,2025年我国半导体行业对电子级氢氟酸的需求量将从2020年的2.86万吨增长至7.63万吨。
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这一需求增长的核心动力,源于近年国家政策的大力支持,以及物联网、新能源汽车、beplay下载软件 终端制造、新一代移动通信等下游市场的旺盛需求。在双重驱动下,我国集成电路产业市场规模实现显著增长,直接拉动电子级氢氟酸需求攀升。数据显示,2023年我国集成电路产量3514亿块,同比增长6.9%;预计2027年这一产量将达到4937亿块。2023年我国集成电路制造销售额3874亿元,预计2026年这一销售额将达到6827亿元,期间年均复合增长率为20.79%,产业的高速发展为电子级氢氟酸提供了坚实的需求支撑。
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光伏领域方面:在N型高效电池(如TOPCon、HJT)的硅片制绒和边缘隔离工艺中,电子级氢氟酸是核心材料。随着光伏产业向高效化、规模化发展,光伏领域对电子级氢氟酸的需求也持续扩大,预计2025年光伏行业需求量将达12.35万吨,较2022年的6.03万吨实现翻倍增长,成为电子级氢氟酸需求增长的另一重要引擎。
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这一需求增长的核心动力,源于光伏产业向高效化转型的必然趋势与规模化扩产的双重驱动。近年来,N型电池技术升级已成为光伏产业发展的核心主线,TOPCon、HJT等N型高效电池凭借更高的转换效率、更低的衰减率等优势,加速替代传统P型电池,产能替代节奏持续加快。其中,TOPCon因与现有PERC产线兼容度高、改造成本较低,成为当前N型电池的主流选择,2024年其出货量390.8GW,占光伏电池片总出货量69.4%,主导地位凸显;而HJT则凭借突出的效率优势,在降本技术持续突破的推动下,逐步扩大产能规模,进一步助力光伏领域电子级氢氟酸需求增长。
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三、供给能力不断提升,我国电子级氢氟酸产能、产量快速增长
近年来,我国电子级氢氟酸产业通过自主创新和技术引进,取得了重大突破。如在精馏工艺方面,多氟多与滨化股份等龙头企业成功应用“五塔连续精馏配合热泵节能”技术,将氢氟酸纯度稳定提升至6N级别,同时降低了40%的能耗,并将金属离子含量严格控制在5ppb以下,大幅提升了产品品质;在上游原料端,金石资源通过改进选矿工艺,成功将萤石纯度提升至98%以上,完全满足了电子级氢氟酸对原料的高标准要求。技术突破的持续落地,推动我国电子级氢氟酸国产化率稳步攀升,从2018年的30%大幅提升至2024年的65%。
与此同时,生产技术本土化率显著提高,行业领先厂商已熟练掌握常规及超高纯度提纯技术,产品纯度、金属杂质含量及颗粒控制等关键指标均达到国际先进水平。这一进展不仅打破了国际供货商的长期垄断,更加速了国产电子级氢氟酸替代进口产品的进程,进一步释放了国内供给潜力。数据显示,2024年我国电子级氢氟酸产能达66.9万吨,产量33.5万吨,较2022年分别增长42%和38%,产能与产量实现同步快速增长,供给规模持续扩大。
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四、我国电子级氢氟酸行业呈现“低端出口、高端进口”的结构性特征
依托国内技术突破与产能扩张,我国电子级氢氟酸出口规模稳步提升,进出口格局实现根本性转变,目前已成为电子级氢氟酸净出口国。数据显示,2025年12月,我国电子级氢氟酸出口量为2674.15吨,进口量为908.46吨,净出口为1765.69吨。
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不过,需要注意的是,我国电子级氢氟酸产业仍存在明显短板:由于技术门槛极高,SEMI G5级电子级氢氟酸的生产制程目前仍难以实现重大突破。当前国内电子级氢氟酸生产商主要聚焦于EL、UP及UPS级产品的生产,此类产品的质量和纯度与进口同类产品相比仍存在一定差距,而能够达到SEMI G5级高标准的厂商数量极少,高端产品供给不足的问题仍未得到根本解决。
这一产业短板也直接体现在进出口均价上。2025年12月,我国电子级氢氟酸进口均价2949.56美元/吨,出口均价为1346.79美元/吨,进口均价是出口均价的2.19倍。这一明显价差背后,清晰反映出我国电子级氢氟酸行业“低端出口、高端进口”的结构性特征——出口以中低端产品为主,而高端产品需求仍需依赖进口补充。
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