目前在半导体检测领域，比较领先的国内设备商包括上海睿励、长川科技、华峰测控等；其中上海睿励主要做工艺控制检测设备，而长川科技、华峰测控主要做测试设备。另外，面板检测设备龙头精测电子也欲延伸产品触角，切入半导体检测领域。
TFX3000--300mm全自动精密薄膜测量系统是睿励自主研发和生产的具有完全自主知识产权的集成电路生产线工艺检测设备。应用范围包括刻蚀、化学气相沉积、光刻和化学机械抛光等工艺段的测量，能准确的确定半导体制造工艺中的各种薄膜参数和细微变化（如膜厚、折射率、应力等）。
TFX3000OCD是睿励自主创新开发，具有自主知识产权的集成电路生产线300mm硅片全自动光学关键尺寸（OCD）和形貌测量系统。其在TFX3000系统基础上集成光学关键尺寸测量模块，除具有300mm全自动光学膜厚测量能力外，还可以进行显影后检查、刻蚀后检查等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度、高度/深度等关键尺寸特征或整体形貌测量。可测量二维多晶硅栅极刻蚀、隔离槽、隔离层、双重曝光或三维连接孔、鳍式场效应晶体管、闪存等多种样品。具有高速、准确和非破坏性等特点。
睿励自主开发生产的镓液态离子源(LMIS)是应用于聚焦粒子束(FIB)设备的关键部件，在科学研究和工业开发，包括材料科学、生命科学、半导体工业等领域有着广泛而重要的用途。
长川科技：长川科技是目前国内半导体测试设备领域唯一的上市公司，主营测试机和分选机的研发、制造和销售，深耕国内封装测试市场。公司的产品已获得长电科技、华天科技、通富微电、士兰微、华润微电子、日月光等多个一流集成电路企业的使用和认可，近三年公司前五大客户的营业额占总营收的75%以上。公司当前主要产品包括集成电路测试机和分选机，主要应用在后道FT测试中；新产品探针台产品即将推出市场，有望在国内行业投资红利下，借助探针台向CP测试拓展。
公司测试机包括大功率测试机和模拟/数模混合测试机，主要用于半导体封装测试环节。分选机包括重力下滑式分选机（C1、C3、C3Q、C37、C5、C7、C8、C9、C9Q系列）和平移式分选机（C6、C7R系列）等。目前公司产品
公司发布2017年业绩快报，2017年实现营业收入17,982万元，同比增长44.%；实现归属于上市公司股东的净利润为5,096万元，同比增长23.1%。由于公司主营产品测试机和分选机都属于高附加值产品，毛利率维持在60%左右，其中测试机的毛利率高达70%以上，分选机的毛利率为45%左右，盈利能力比肩国际行业龙头。
参考观研天下发布《2018年中国半导体市场分析报告-行业深度调研与投资前景预测》
风险提示：公司对行业设备投资依赖强，可能存在受行业周期性波动带来的不利影响；技术开发风险，技术发展的趋势可能面临市场竞争力降低的风险；应收账款回收风险；中前道检测新产品开拓不及预期的风险。
公司作为面板检测设备龙头，深耕面板检测设备领域，产品已覆盖Module制程的检测系统，并成功实现了Cell制程产品的规模销售，Array制程的产品也初具竞争力。随着中外合资公司的设立，公司业务将从面板检测向覆盖面更广的泛半导体测试设备延伸，综合实力及核心竞争力将大幅提升。未来公司有望充分分享国内面板和半导体产业投资的双重红利，同时向光伏、锂电池等领域延伸。以面板检测设备为中心扩散，打造平台型的检测设备业务。
风险提示：OLED和高世代面板线投资具有不确定性；新产品放量不及预期；行业竞争加剧导致毛利率下降；半导体业务进展低于预期。
一、上海睿励
睿励科学仪器（上海）有限公司是于2005年创建的合资公司，致力于开发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。公司的产品填补国家重大产业链中的重要空白，自列入了2005年上海市科教兴市重大产业科技攻关项目起,，得到了政府和业界的大力支持和高度关注。目前公司的主要产品为针对膜厚和关键尺寸的光学测量设备，公司用于28nm制程的12英寸膜厚测量全自动精密薄膜线宽测量系统已经实现在生产线上的批量应用，而应用于12nm制程的光学尺寸测量设备开始步入生产线验证阶段。图表：上海睿励科学仪器主要产品
图表来源：公开资料整理
TFX3000--300mm全自动精密薄膜测量系统是睿励自主研发和生产的具有完全自主知识产权的集成电路生产线工艺检测设备。应用范围包括刻蚀、化学气相沉积、光刻和化学机械抛光等工艺段的测量，能准确的确定半导体制造工艺中的各种薄膜参数和细微变化（如膜厚、折射率、应力等）。
TFX3000OCD是睿励自主创新开发，具有自主知识产权的集成电路生产线300mm硅片全自动光学关键尺寸（OCD）和形貌测量系统。其在TFX3000系统基础上集成光学关键尺寸测量模块，除具有300mm全自动光学膜厚测量能力外，还可以进行显影后检查、刻蚀后检查等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度、高度/深度等关键尺寸特征或整体形貌测量。可测量二维多晶硅栅极刻蚀、隔离槽、隔离层、双重曝光或三维连接孔、鳍式场效应晶体管、闪存等多种样品。具有高速、准确和非破坏性等特点。
睿励自主开发生产的镓液态离子源(LMIS)是应用于聚焦粒子束(FIB)设备的关键部件，在科学研究和工业开发，包括材料科学、生命科学、半导体工业等领域有着广泛而重要的用途。
长川科技：长川科技是目前国内半导体测试设备领域唯一的上市公司，主营测试机和分选机的研发、制造和销售，深耕国内封装测试市场。公司的产品已获得长电科技、华天科技、通富微电、士兰微、华润微电子、日月光等多个一流集成电路企业的使用和认可，近三年公司前五大客户的营业额占总营收的75%以上。公司当前主要产品包括集成电路测试机和分选机，主要应用在后道FT测试中；新产品探针台产品即将推出市场，有望在国内行业投资红利下，借助探针台向CP测试拓展。
公司测试机包括大功率测试机和模拟/数模混合测试机，主要用于半导体封装测试环节。分选机包括重力下滑式分选机（C1、C3、C3Q、C37、C5、C7、C8、C9、C9Q系列）和平移式分选机（C6、C7R系列）等。目前公司产品
图表：长川科技公司主要测试机产品
图表来源：公开资料整理
图表：长川科技公司主要分选机产品
图表来源：公开资料整理
公司发布2017年业绩快报，2017年实现营业收入17,982万元，同比增长44.%；实现归属于上市公司股东的净利润为5,096万元，同比增长23.1%。由于公司主营产品测试机和分选机都属于高附加值产品，毛利率维持在60%左右，其中测试机的毛利率高达70%以上，分选机的毛利率为45%左右，盈利能力比肩国际行业龙头。
图表：近三年长川科技营收及毛利率（百万元）
图表来源：公开资料整理
参考观研天下发布《2018年中国半导体市场分析报告-行业深度调研与投资前景预测》
图表：2016年长川科技主营业务收入的产品结构
图表来源：公开资料整理
风险提示：公司对行业设备投资依赖强，可能存在受行业周期性波动带来的不利影响；技术开发风险，技术发展的趋势可能面临市场竞争力降低的风险；应收账款回收风险；中前道检测新产品开拓不及预期的风险。
二、精测电子
前期公司发布公告，拟与IT&TCo.,LTD、张庆勋和周璇在湖北省武汉市设立中外合资公司；同时，公司公告拟变更经营范围，增加了芯片设计、半导体测试设备、锂电池等新能源测试系统、电源测试系统等。公司与IT&T、周旋在湖北省武汉市共同投资设立中外合资公司——武汉精鸿电子技术有限公司,目前已经顺利落地。合资公司将结合各方优势，进行半导体测试设备的研发、生产、销售及技术服务，实现各方的互利共赢，把握中国半导体设备自主化的发展机遇。公司作为面板检测设备龙头，深耕面板检测设备领域，产品已覆盖Module制程的检测系统，并成功实现了Cell制程产品的规模销售，Array制程的产品也初具竞争力。随着中外合资公司的设立，公司业务将从面板检测向覆盖面更广的泛半导体测试设备延伸，综合实力及核心竞争力将大幅提升。未来公司有望充分分享国内面板和半导体产业投资的双重红利，同时向光伏、锂电池等领域延伸。以面板检测设备为中心扩散，打造平台型的检测设备业务。
图表：精测电子营业收入和净利润(百万元)
图表来源：公开资料整理
图表：精测电子研发费用
图表来源：公开资料整理
风险提示：OLED和高世代面板线投资具有不确定性；新产品放量不及预期；行业竞争加剧导致毛利率下降；半导体业务进展低于预期。
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