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单位
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文件名
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内容
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| 2009
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科技部
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《国家火炬计划优先发展技术领域〉〉
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将“专用气体”列入优先发展的“新材料及应用领域”中的电子信息材料。
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| 2012
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科技部
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《国家火炬计划优先发展技术领域〉〉
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将起高纯度氨气等外延材料、高纯电子气体和试剂等列入重点发展任务。
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| 2012
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科技部
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《新型显示科技发展“十二五”专顶规划〉〉
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提出开发高纯特种气体材料等，提高有机发光显示产品上游配套材料国产化率。
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| 2013
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国家发改委
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《产业结构调整指导目录（2011年版）》（2013年修订）
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将电子气等新型精细化学品的开发与生产列入“第一类鼓励类”产业。
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| 2016
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科技部
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国家重点支持的高新技术领域目录》（2016）
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在“四、新材料”之“（五）精细和专用化学品”之“2、电子化学品制备及应用技术”中明确指出“包括特种（电子）气体的制备及应用技术”。
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| 2016
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国务院
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《“十三五”国家战略新兴产业发展规划〉〉
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提出优化新材料产业化及应用环境，提高新材料应用水平，推进新材料融入高端制造供应链，到2020年力争使若干新材料品种进入全球供应链，重大关键材料自给率达到70%以上。
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| 2017
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国家发改委
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《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》（2016)
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在“1. 3. 5关键电子材料”中包括“起高纯度气体等外延材料”。
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| 2017
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工信部、国家发改委、科技部、财政部
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《新材料产业发展指南》
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在重点任务中提出“加快高纯特种电子气体研发及产业化，解决极大规模集成电路材料制约”
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| 2017
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工信部
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《重点新材料首批次应用示范指导目录(2017年版）》
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在“先进基础材料”之“三、先进化工材料”之“(四）电子化工新材料”之“20特种气体”中将特种气体明确列示，主要应用于集成电路，新型显示。
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| 2018
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国家统计局
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《战略性新兴产业分类（2018）
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在“1. 2. 4集成电路制造”的重点产品和服务中包括了“起高纯度气体外延用原料”，在“3. 3. 6专用化学品及材料制造”中重点产品和服务中包括了“电子大宗气体，电子特种气体”
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| 2019
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国家发改委
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《产业结构调整指导目录》（2019年本）
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起净高纯试剂、光刻胶、电子气、高性能液晶材料等新型精细化学品的开发和生产属于鼓励类。
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2010-2018年电子特种气体行业市场规模一直呈现高速增长趋势，尤其是在半导体行业快速发展的推动下，2018年已经达到121.56亿元，同比增长11%。
电子特气国内市场由美国气体化工、美国普莱克斯、日本昭和电工、英国BOC、法国液化空气、日本太阳日酸前6大企业垄断，占据85%的市场份额，受制于人的局面亟待改变。
以上数据资料参考《 2020年中国电子特种气体行业前景分析报告-市场深度调研与发展趋势研究 》。
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