前言：
在“十四五”规划与晶圆厂产能扩张的双重驱动下，中国LPCVD设备市场需求持续释放。面对海外厂商高达95%的市场垄断，国内LPCVD设备商凭借政策支持与技术创新，在成熟制程领域快速放量，并向先进制程延伸，开启国产替代新篇章。
1、LPCVD设备定义
LPCVD（低压化学气相沉积）是半导体制造中的关键薄膜沉积工艺。LPCVD设备在低压环境下，通过气态前驱体在加热的晶圆表面发生化学反应，形成均匀、致密的固态薄膜（如多晶硅、氮化硅、二氧化硅等），这些薄膜用于制造栅极、介质层、钝化层等，是芯片结构的核心组成部分。
在产业链方面，LPCVD设备行业上游包括精密零部件、真空系统、气体输送系统、加热器、控制系统、软件等，这部分技术壁垒高，部分高端零部件（如MFC、真空泵）仍依赖进口，是制约国产设备成本与交付的关键环节；LPCVD设备行业下游主要为晶圆制造厂（如中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储等）和科研院所。
LPCVD设备行业产业链图解
资料来源：观研天下整理
低压化学气相沉积（LPCVD）是在APCVD的基础上发展起来的，主要工艺类型为Poly工艺、SiN工艺和TEOS工艺，还可用于接触孔以及金属钨线的填充。
LPCVD设备主要工艺类型
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工艺 |
具体阐述 |
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Poly工艺 |
Poly工艺生成多晶硅的工艺温度在540~630°C，可形成非晶和多晶硅，作为栅极的膜厚在1000~3000A。 |
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SiN工艺 |
SiN工艺用做硅片最终的钝化保护层，也被用做掩膜材料，用于浅槽隔离工艺。工艺温度在700~800°C，工艺压力在0.2~0.4Torr。采用LPCVD淀积的氮化硅薄膜均匀性好、台阶覆盖能力强，具有较大的张应力，可补偿二氧化硅薄膜的压应力，有效地解决了硅-二氧化硅-氮化硅夹心结构的应力问题。而且，该薄膜在碱性溶液中具有极小的腐蚀速率，可以作为刻蚀掩膜。 |
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TEOS工艺 |
TEOS工艺用作浅槽隔离的填充物和侧墙。工艺温度在650~750°C，工艺压力在0.1~5.0Torr。目前半导体SiO2薄膜的制备方法主要有三种APCVD、LPCVD和PECVD三种。APCVD具有反应器结构简单、沉积速度快、沉积温度低等优点，缺点是台阶覆盖性差、粒子污染严重。LPCVD拥有极优的台阶覆盖性、良好的组成成分和结构控制性、较高的沉积速率等，不需要载离子气体，颗粒污染源较少，成本低、成品率高等优点，缺点是工艺温度稍高。PECVD具有基本温度低，沉积速率快，成膜质量好，针孔少，不易龟裂等优点，但缺点也很多，比如设备投资大，成本高，对气体的纯度要求高，涂层过程中产生的剧烈噪音、强光辐射、有害气体、金属蒸汽粉尘等对人体有害，薄膜颗粒污染严重等。 |
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2、晶圆厂产能大幅扩张，我国LPCVD设备行业需求将持续释放
“十四五”规划、国家大基金（国家集成电路产业投资基金）持续聚焦半导体产业链，将“突破集成电路关键设备”作为核心目标，为国产设备商提供了前所未有的政策和资金支持。同时，近期，长江存储、长飞先进、陕西电子芯业时代等九大半导体晶圆厂相继投产或进入试产阶段，创造了巨大的LPCVD设备采购需求。
我国半导体晶圆厂投产或试产情况
| 厂商名称 | 投产或试产进展 |
| 长江存储 | 首条全国产化产线预计2025年下半年试产，当前产能已逼近每月13万片晶圆，232层TLC芯片（X4-9070）已成功出货。项目投产后，其NAND闪存全球市场份额有望从8%提升至15%以上，直接挑战三星、SK海力士的垄断地位，标志着我国存储芯片自主可控迈出关键一步。 |
| 长飞先进武汉基地 | 5月28日投产，总投资超200亿元，达产后年产36万片6英寸碳化硅晶圆（可满足144万辆新能源车主驱芯片需求）。投产时首款芯片良率达97%，依托A3级别天车系统的技术优势，已与全球头部车企达成合作，填补了湖北高端碳化硅器件制造的空白 |
| 陕西电子芯业时代 | 预计9月试产的8英寸高性能特色工艺产线，总投资45亿元，设计月产能5万片（未来可扩至10万片），聚焦中高端功率器件，应用于轨道交通、新能源汽车领域。作为西北首条8英寸特色工艺产线，将弥补陕西在该领域的空白，推动区域半导体产业升级。 |
| 湖州汉天下电子 | 7月18日SAW滤波器产线通线，首期月产能1万片晶圆，总投资14亿元，规划年产2.64亿套移动终端及车规级射频模块。项目将打破国外在SAW滤波器领域的部分垄断，提升国内射频芯片自给率。 |
| 重庆奥松半导体 | 7月14日搬入首台光刻机，8英寸MEMS特色芯片IDM基地进入设备调试阶段，冲刺8月底试产、四季度产能爬坡，将为MEMS传感器市场提供更多国产选择。 |
| 安徽华鑫微纳 | 5月完成首批产品成功串线，这标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线在蚌埠正式投产，预计9月底量产。全部建成投产后，将具备月产3万片晶圆的能力，成为国内产出最大的MEMS晶圆生产线。 |
| 润鹏 | 润鹏半导体12吋集成电路生产线项目及方正微8英寸SiC生产线，均于2024年底通线，预计今年正式量产。润鹏半导体项目一期总投资220亿元，聚焦40纳米以上模拟特色工艺，建成后将形成年产48万片12英寸功率芯片的生产能力。 |
| 安意法半导体 | 8英寸碳化硅外延、芯片项目已于2025年2月实现通线，首次建设产能2,000片/月，将在三季度末实现大规模的批量生产。该项目是三安光电和意法半导体在重庆合资建设的8英寸碳化硅芯片厂，该项目预计投资总额达32亿美元（约233.6亿人民币），规划年产8英寸碳化硅车规级MOSFET功率芯片48万片，预计将于2028年全面达产。 |
资料来源：观研天下整理
3、海外厂商高度垄断，中微LPCVD设备加速放量
CVD设备是全球半导体设备市场的重要组成部分，占沉积设备市场的最大份额。而LPCVD作为CVD的一种主流技术，市场规模庞大。当前，全球LPCVD设备市场由应用材料（AMAT）、泛林半导体（Lam Research）和东京电子（TEL）等巨头垄断。数据显示，全球非管式LPCVD设备市场CR3高达95%，其中泛林集团、东京电子和应用材料分别占据40%、36%和19%的市场份额。
资料来源：观研天下整理
我国LPCVD设备厂商主要包括中微公司、北方华创、盛美上海和微导纳米。其中，中微公司LPCVD薄膜设备可满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求，2025年H1收入增长约608.19%，达1.99亿元，并且已开发出六款薄膜沉积产品推向市场；其他二十多种导体薄膜沉积设备也将陆续进入市场，能够覆盖全部类别的先进金属应用。
我国主要厂商LPCVD设备布局情况
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公司 |
布局情况 |
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中微公司 |
中微公司LPCVD薄膜设备可满足先进逻辑器件、DRAM和3DNAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求，25H1收入增长约608.19%达1.99亿元；其他二十多种导体薄膜沉积设备也将陆续进入市场，能够覆盖全部类别的先进金属应用。 |
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北方华创 |
12英寸氮化硅LPCVD早在2020年就已进入中国IC制造龙头企业。LPCVD产品主要用于12英寸逻辑、存储芯片接触孔和通孔填充。该设备通过精确的温度、气体脉冲时间和压力控制，实现高深宽比结构填充需求。 |
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盛美上海 |
盛美上海立式炉管设备首先专注于LPCVD设备，LPCVD（氧化硅、氮化硅、掺杂多晶硅及非掺杂多晶硅）基本已经完成布局。 |
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微导纳米 |
iTronixLP系列可满足SiGe、poly-Si、dopeda-Si等薄膜沉积工艺的需求，已在关键工艺应用上取得突破。目前，该系列产品已产业化验证并获得客户重复订单。 |
资料来源：观研天下整理（WYD）
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行业报告是业内企业、相关投资公司及政府部门准确把握行业发展趋势，洞悉行业竞争格局，规避经营和投资风险，制定正确竞争和投资战略决策的重要决策依据之一。
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目录大纲：
【第一部分 行业定义与监管 】
第一章 2020-2024年中国LPCVD设备行业发展概述
第一节 LPCVD设备行业发展情况概述
一、LPCVD设备行业相关定义
二、LPCVD设备特点分析
三、LPCVD设备行业基本情况介绍
四、LPCVD设备行业经营模式
（1）生产模式
（2）采购模式
（3）销售/服务模式
五、LPCVD设备行业需求主体分析
第二节 中国LPCVD设备行业生命周期分析
一、LPCVD设备行业生命周期理论概述
二、LPCVD设备行业所属的生命周期分析
第三节 LPCVD设备行业经济指标分析
一、LPCVD设备行业的赢利性分析
二、LPCVD设备行业的经济周期分析
三、LPCVD设备行业附加值的提升空间分析
第二章 中国LPCVD设备行业监管分析
第一节 中国LPCVD设备行业监管制度分析
一、行业主要监管体制
二、行业准入制度
第二节 中国LPCVD设备行业政策法规
一、行业主要政策法规
二、主要行业标准分析
第三节 国内监管与政策对LPCVD设备行业的影响分析
【第二部分 行业环境与全球市场】
第三章 2020-2024年中国LPCVD设备行业发展环境分析
第一节 中国宏观环境与对LPCVD设备行业的影响分析
一、中国宏观经济环境
二、中国宏观经济环境对LPCVD设备行业的影响分析
第二节 中国社会环境与对LPCVD设备行业的影响分析
第三节 中国对外贸易环境与对LPCVD设备行业的影响分析
第四节 中国LPCVD设备行业投资环境分析
第五节 中国LPCVD设备行业技术环境分析
第六节 中国LPCVD设备行业进入壁垒分析
一、LPCVD设备行业资金壁垒分析
二、LPCVD设备行业技术壁垒分析
三、LPCVD设备行业人才壁垒分析
四、LPCVD设备行业品牌壁垒分析
五、LPCVD设备行业其他壁垒分析
第七节 中国LPCVD设备行业风险分析
一、LPCVD设备行业宏观环境风险
二、LPCVD设备行业技术风险
三、LPCVD设备行业竞争风险
四、LPCVD设备行业其他风险
第四章 2020-2024年全球LPCVD设备行业发展现状分析
第一节 全球LPCVD设备行业发展历程回顾
第二节 全球LPCVD设备行业市场规模与区域分布情况
第三节 亚洲LPCVD设备行业地区市场分析
一、亚洲LPCVD设备行业市场现状分析
二、亚洲LPCVD设备行业市场规模与市场需求分析
三、亚洲LPCVD设备行业市场前景分析
第四节 北美LPCVD设备行业地区市场分析
一、北美LPCVD设备行业市场现状分析
二、北美LPCVD设备行业市场规模与市场需求分析
三、北美LPCVD设备行业市场前景分析
第五节 欧洲LPCVD设备行业地区市场分析
一、欧洲LPCVD设备行业市场现状分析
二、欧洲LPCVD设备行业市场规模与市场需求分析
三、欧洲LPCVD设备行业市场前景分析
第六节 2025-2032年全球LPCVD设备行业分布走势预测
第七节 2025-2032年全球LPCVD设备行业市场规模预测
【第三部分 国内现状与企业案例】
第五章 中国LPCVD设备行业运行情况
第一节 中国LPCVD设备行业发展状况情况介绍
一、行业发展历程回顾
二、行业创新情况分析
三、行业发展特点分析
第二节 中国LPCVD设备行业市场规模分析
一、影响中国LPCVD设备行业市场规模的因素
二、中国LPCVD设备行业市场规模
三、中国LPCVD设备行业市场规模解析
第三节 中国LPCVD设备行业供应情况分析
一、中国LPCVD设备行业供应规模
二、中国LPCVD设备行业供应特点
第四节 中国LPCVD设备行业需求情况分析
一、中国LPCVD设备行业需求规模
二、中国LPCVD设备行业需求特点
第五节 中国LPCVD设备行业供需平衡分析
第六节 中国LPCVD设备行业存在的问题与解决策略分析
第六章 中国LPCVD设备行业产业链及细分市场分析
第一节 中国LPCVD设备行业产业链综述
一、产业链模型原理介绍
二、产业链运行机制
三、LPCVD设备行业产业链图解
第二节 中国LPCVD设备行业产业链环节分析
一、上游产业发展现状
二、上游产业对LPCVD设备行业的影响分析
三、下游产业发展现状
四、下游产业对LPCVD设备行业的影响分析
第三节 中国LPCVD设备行业细分市场分析
一、细分市场一
二、细分市场二
第七章 2020-2024年中国LPCVD设备行业市场竞争分析
第一节 中国LPCVD设备行业竞争现状分析
一、中国LPCVD设备行业竞争格局分析
二、中国LPCVD设备行业主要品牌分析
第二节 中国LPCVD设备行业集中度分析
一、中国LPCVD设备行业市场集中度影响因素分析
二、中国LPCVD设备行业市场集中度分析
第三节 中国LPCVD设备行业竞争特征分析
一、企业区域分布特征
二、企业规模分布特征
三、企业所有制分布特征
第八章 2020-2024年中国LPCVD设备行业模型分析
第一节 中国LPCVD设备行业竞争结构分析（波特五力模型）
一、波特五力模型原理
二、供应商议价能力
三、购买者议价能力
四、新进入者威胁
五、替代品威胁
六、同业竞争程度
七、波特五力模型分析结论
第二节 中国LPCVD设备行业SWOT分析
一、SWOT模型概述
二、行业优势分析
三、行业劣势
四、行业机会
五、行业威胁
六、中国LPCVD设备行业SWOT分析结论
第三节 中国LPCVD设备行业竞争环境分析（PEST）
一、PEST模型概述
二、政策因素
三、经济因素
四、社会因素
五、技术因素
六、PEST模型分析结论
第九章 2020-2024年中国LPCVD设备行业需求特点与动态分析
第一节 中国LPCVD设备行业市场动态情况
第二节 中国LPCVD设备行业消费市场特点分析
一、需求偏好
二、价格偏好
三、品牌偏好
四、其他偏好
第三节 LPCVD设备行业成本结构分析
第四节 LPCVD设备行业价格影响因素分析
一、供需因素
二、成本因素
三、其他因素
第五节 中国LPCVD设备行业价格现状分析
第六节 2025-2032年中国LPCVD设备行业价格影响因素与走势预测
第十章 中国LPCVD设备行业所属行业运行数据监测
第一节 中国LPCVD设备行业所属行业总体规模分析
一、企业数量结构分析
二、行业资产规模分析
第二节 中国LPCVD设备行业所属行业产销与费用分析
一、流动资产
二、销售收入分析
三、负债分析
四、利润规模分析
五、产值分析
第三节 中国LPCVD设备行业所属行业财务指标分析
一、行业盈利能力分析
二、行业偿债能力分析
三、行业营运能力分析
四、行业发展能力分析
第十一章 2020-2024年中国LPCVD设备行业区域市场现状分析
第一节 中国LPCVD设备行业区域市场规模分析
一、影响LPCVD设备行业区域市场分布的因素
二、中国LPCVD设备行业区域市场分布
第二节 中国华东地区LPCVD设备行业市场分析
一、华东地区概述
二、华东地区经济环境分析
三、华东地区LPCVD设备行业市场分析
（1）华东地区LPCVD设备行业市场规模
（2）华东地区LPCVD设备行业市场现状
（3）华东地区LPCVD设备行业市场规模预测
第三节 华中地区市场分析
一、华中地区概述
二、华中地区经济环境分析
三、华中地区LPCVD设备行业市场分析
（1）华中地区LPCVD设备行业市场规模
（2）华中地区LPCVD设备行业市场现状
（3）华中地区LPCVD设备行业市场规模预测
第四节 华南地区市场分析
一、华南地区概述
二、华南地区经济环境分析
三、华南地区LPCVD设备行业市场分析
（1）华南地区LPCVD设备行业市场规模
（2）华南地区LPCVD设备行业市场现状
（3）华南地区LPCVD设备行业市场规模预测
第五节 华北地区LPCVD设备行业市场分析
一、华北地区概述
二、华北地区经济环境分析
三、华北地区LPCVD设备行业市场分析
（1）华北地区LPCVD设备行业市场规模
（2）华北地区LPCVD设备行业市场现状
（3）华北地区LPCVD设备行业市场规模预测
第六节 东北地区市场分析
一、东北地区概述
二、东北地区经济环境分析
三、东北地区LPCVD设备行业市场分析
（1）东北地区LPCVD设备行业市场规模
（2）东北地区LPCVD设备行业市场现状
（3）东北地区LPCVD设备行业市场规模预测
第七节 西南地区市场分析
一、西南地区概述
二、西南地区经济环境分析
三、西南地区LPCVD设备行业市场分析
（1）西南地区LPCVD设备行业市场规模
（2）西南地区LPCVD设备行业市场现状
（3）西南地区LPCVD设备行业市场规模预测
第八节 西北地区市场分析
一、西北地区概述
二、西北地区经济环境分析
三、西北地区LPCVD设备行业市场分析
（1）西北地区LPCVD设备行业市场规模
（2）西北地区LPCVD设备行业市场现状
（3）西北地区LPCVD设备行业市场规模预测
第九节 2025-2032年中国LPCVD设备行业市场规模区域分布预测
第十二章 LPCVD设备行业企业分析（随数据更新可能有调整）
第一节 企业一
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第二节 企业二
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第三节 企业三
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第四节 企业四
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第五节 企业五
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第六节 企业六
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第七节 企业七
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第八节 企业八
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第九节 企业九
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第十节 企业十
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
【第四部分 展望、结论与建议】
第十三章 2025-2032年中国LPCVD设备行业发展前景分析与预测
第一节 中国LPCVD设备行业未来发展前景分析
一、中国LPCVD设备行业市场机会分析
二、中国LPCVD设备行业投资增速预测
第二节 中国LPCVD设备行业未来发展趋势预测
第三节 中国LPCVD设备行业规模发展预测
一、中国LPCVD设备行业市场规模预测
二、中国LPCVD设备行业市场规模增速预测
三、中国LPCVD设备行业产值规模预测
四、中国LPCVD设备行业产值增速预测
五、中国LPCVD设备行业供需情况预测
第四节 中国LPCVD设备行业盈利走势预测
第十四章 中国LPCVD设备行业研究结论及投资建议
第一节 观研天下中国LPCVD设备行业研究综述
一、行业投资价值
二、行业风险评估
第二节 中国LPCVD设备行业进入策略分析
一、目标客户群体
二、细分市场选择
三、区域市场的选择
第三节 LPCVD设备行业品牌营销策略分析
一、LPCVD设备行业产品策略
二、LPCVD设备行业定价策略
三、LPCVD设备行业渠道策略
四、LPCVD设备行业推广策略
第四节 观研天下分析师投资建议
