半导体测试设备是一种用于电子与通信技术领域的电子测量仪器。
为促进半导体测试设备行业的发展，我国及部分省市发布了一系列行业政策，如2022年河北省发布的《计量发展规划(2021-2035年)》提出开展半导体材料特性、几何量工艺参数及专用测试设备研究，微波太赫兹晶圆测量设备计量测试技术研究，开展失效数据分析和应用。
我国及部分省市半导体测试设备行业相关政策
| 层级 | 发布时间 | 发布部门 | 政策名称 | 主要内容 |
| 国家级 | 2020年12月 | 科技部 | 长三角科技创新共同体建设发展规划 | 聚焦量子信息、类脑芯片、物联网、第三代半导体、新一代人工beplay下载软件 、细胞与免疫治疗等领域，努力实现技术群体性突破，支撑相关新兴产业集群发展，培育一批具有国际竞争力的龙头企业，建设一批国家级战略性新兴产业创新示范基地，打造若干具有国际竞争力的先进制造业集群。 |
| 国家级 | 2022年8月 | 国务院 | 国务院关于支持山东深化新旧动能转换推动绿色低碳高质量发展的意见 | 大力提升先进计算、新型beplay下载软件 终端、超高清视频、网络安全等数字优势产业竞争力，积极推进光电子、高端软件等核心基础产业创新突破，前瞻布局未来网络、碳基半导体、类脑计算等未来产业。 |
| 国家级 | 2023年8月 | 国务院 | 河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划 | 推动新一代信息技术产业突破发展。 发挥好市场导向、企业主体、产学研深度融合优势，瞄准集成电路设计、软件开发、封测及中试、第五代移动通信（5G）等，加快建设5G中高频器件测试、先进显示研发验证、集成电路科研试验、高端芯片设计验证、半导体先进封测、微机电系统研发、机器人检测认证等中试公共服务平台，开展产业链关键技术攻关，加快实现信息产业前沿共性技术突破，推动形成相关技术标准。 |
| 省级 | 2021年7月 | 上海市 | 上海市先进制造业发展“十四五”规划 | 提升先进半导体、碳纤维及其复合材料、高温合金、高性能膜材料、先进陶瓷和人工晶体等关键战略材料的综合保障能力； |
| 省级 | 2021年12月 | 河南省 | 河南省“十四五”战略性新兴产业和未来产业发展规划 | 推动半导体封测切片、磨片、抛光等专用设备产业化。 |
| 省级 | 2022年4月 | 河北省 | 计量发展规划(2021-2035年) | 开展半导体材料特性、几何量工艺参数及专用测试设备研究，微波太赫兹晶圆测量设备计量测试技术研究，开展失效数据分析和应用。 |
| 省级 | 2023 年9月 | 河北省 | 关于促进电子信息产业高质量发展的意见 | 巩固电子特种气体、碳化硅衬底、半导体外延片、溅射靶材等基础材料优势；发展硅片切割、芯片检测等半导体专用装备，提升射频、光通信、传感器等专用芯片设计水平；加快第三代半导体芯片器件、微波射频、电源管理、高端传感器等专用芯片生产线建设。 |
资料来源：观研天下整理（XD）
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