| 类别
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主要产品
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主要用途
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| 大宗气体
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N2、02、Ar、H2、He等
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环境气、保护气、载体
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| 外延用气体
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SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4等
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外延生长
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| 蚀刻气体
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SF6、CF4、NF3、SiF4、C3F8、C2F6、HCI、HF、CL2、HBr等
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刻蚀
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| 掺杂气体
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AsH3、PH3、B2H6、ASCI3、AsF3、BC13、PC13等
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掺杂相应元素
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| 离子注入气体
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AsF5、PF5、SiF4等
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离子注入元素
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2016年全球半导体用特种气体市场规模34.7亿美元，2017年增长到38.9亿美元，增速12.32%，未来有望受益于中国半导体行业的大发展持续增长。
目前全球半导体用电子气体市场呈现出寡头竞争的格局，美国气体化工、法国法液空、德国林德、日本日酸和美国普莱克斯占比94%以上。国内半导体用电子市场主要被国外厂商占据，其中美国气体化工、美国普莱克斯、昭和电工、英国BOC、法国液空和日本日酸6家公司合计市占率高达85%，国内企业占比较低。
参考观研天下发布《 2018年中国电子特种气体市场分析报告-行业运营态势与投资前景预测 》
| 公司名称
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主要产品
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| 南大光电
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高纯砷烷、磷烷
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| 巨化股份
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高纯氨气、氟气、氯气、三氟化氮等
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| 启源装备
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高纯磷烷、砷烷、锗烷
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| 稚克科技(科美特)
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六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮
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| 金宏气体
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超纯氛、氯化氢、二氧化碳
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| 中船重工718所
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六氛化钨、三氟化氮、
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| 华特气体
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氮气、氩气、氦气、四氟化硅
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| 黎明化工研究设计院
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四氟化碳、三氟化氮
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| 中昊光明
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氨、三氟化氮
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| 南京特种气体
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氨、三氟化氮
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