1.真空泵下游已形成结构多元、分布广泛的应用体系,半导体、光伏、锂电等领域驱动行业需求增长
根据观研报告网发布的《中国真空泵行业发展趋势研究与未来投资预测报告(2025-2032年)》显示,真空泵是产生、改善和维持真空环境的装置,是真空工艺过程中必不可少的设备,包括干式真空泵、螺杆真空泵、旋片真空泵、涡旋真空泵、磁悬浮真空泵等。当前,我国真空泵下游已形成结构多元、分布广泛的应用体系,覆盖半导体、光伏、锂离子电池、制药、食品、精密制造、化工、面板等众多领域。这些领域共同推动真空泵行业需求增长,展现出广阔的发展前景。下文将重点围绕半导体、光伏和锂离子电池三大战略新兴领域展开分析。
真空泵下游应用情况
应用领域 | 主要用途 |
半导体 | 真空泵是半导体制造真空系统的核心关键部件,在薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻等多个工艺制程段,都需要真空泵配合,用其创造并维持高纯度、不同等级的真空环境。 |
光伏 | 晶硅太阳能电池生产过程中,晶体生长和电池片制造工序需要真空泵提供真空环境。 |
锂离子电池 | 从电极材料的干燥到电池封装等工序,都需要真空泵提供稳定的真空环境,以保证电池的性能和安全性。 |
制药 | 广泛应用于药品真空干燥、溶剂回收、蒸馏浓缩等工艺,以及无菌生产线的物料输送、包装等环节,确保洁净环境并提高生产效率。 |
造纸 | 在造纸机上形成真空区,主要用于网部脱水、压榨部毛毯脱水以及烘缸冷凝水系统,起到脱水、带动纸页运行和维持稳定生产的作用。 |
精密加工 | 主要为CNC机床、电火花加工(EDM)等设备提供真空吸附力,用于牢固、无损地固定工件、模具或薄型材料,确保加工精度。 |
冶金 | 主要用于真空熔炼、真空脱气、真空烧结和真空热处理等工艺,通过移除气体成分防止氧化,提升金属材料的纯度、致密性和性能。 |
化工 | 用于真空蒸馏、真空过滤、真空结晶、溶剂回收等工艺,通过降低沸点来安全地分离、提纯热敏性物料,并降低能耗。 |
食品 | 主要应用于真空包装、真空冷冻干燥(冻干)、真空浓缩和真空脱气等工艺,旨在抑制微生物生长、延长食品保质期并保留风味营养。 |
面板 | 在OLED/LCD显示屏制造的薄膜晶体管(TFT)阵列和彩膜(CF)的真空镀膜(PVD)工艺中,创造必需的洁净真空腔室环境。 |
科研 | 为同步辐射、粒子加速器、空间环境模拟舱、材料表面分析仪器(如SEM, TEM)等大型科研装置提供并维持超高真空环境。 |
资料来源:公开资料、观研天下整理
在半导体领域,真空泵是真空系统的关键设备,因广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻等多个工艺制程段,行业对其需求量大。以12 英寸晶圆生产线为例,业内通常每6万片/月产能需要约3500台干式真空泵。同时该领域也是目前真空泵应用范围最广、技术壁垒最高的第一大市场。近年来,在国家政策支持、技术持续突破、市场需求增长与供应链自主可控要求共同推动下,中国大陆晶圆产能实现跨越式增长,从2020年的318.4万片/月增长至2024年的885万片/月,年均复合增长率达 29.12%。这一快速扩张的产能为真空泵行业带来持续且强劲的需求。
数据来源:公开资料、观研天下整理
注:按8英寸等效计算
在光伏领域,真空泵主要应用于晶硅太阳能电池生产过程中的晶体生长与电池片制造工序,为其提供必需的真空环境。近年来,在政策支持与技术迭代的驱动下,我国光伏产业实现蓬勃发展,太阳能电池产量从2020年的15728.6万千瓦跃升至2024年的68495.3万千瓦;2025年1-7月继续保持快速增长,累计产量达47396.4万千瓦,同比增长41.80%。作为太阳能电池市场占有率超过90%的主流技术路线,晶硅太阳能电池的产量也在快速上升,为真空泵行业带来显著的市场动力。
数据来源:国家统计局、观研天下整理
在锂离子电池领域,真空泵在电极材料干燥、电池封装等多个关键环节中不可或缺,为电池制造提供稳定真空保障,直接影响电池性能和安全性。受益于新能源汽车与储能行业的快速发展,我国锂离子电池出货量从2020年的143GWh迅速增长至2024年的1214.6GWh,年均复合增长率高达70.72%。锂电产业的迅猛发展态势,为真空泵带来显著的增量市场空间,已成为推动行业增长的又一重要引擎。
数据来源:EVTank、观研天下整理
2.真空泵行业加速向节能方向发展,干式真空泵、磁悬浮真空泵等节能型产品发展潜力大
在当前“双碳”战略持续深化、工业领域节能减排政策加速落地,以及下游行业客户对生产设备能效与环保标准要求不断提高的多重背景下,我国真空泵行业正加速向高效节能方向转型升级。这一转型既是行业响应国家绿色发展号召的必然选择,也是适配下游制造领域对低能耗、低污染生产环境需求的关键路径。
而干式真空泵、磁悬浮真空泵等节能型产品,凭借能耗低、污染少、运行效率高等优势,正逐步替代此前市场中部分高能耗、高排放的传统真空泵产品;它们不仅成为行业技术迭代与绿色改造的重要方向,更因深度契合各行业低碳发展的核心诉求,叠加政策扶持与市场需求双重驱动,展现出广阔的市场发展潜力。
3.真空泵产业格局 “低端集中、高端缺位”:高端进口替代空间犹存,贸易逆差大幅缩减
与发达国家相比,我国真空泵行业起步较晚,产业格局呈现明显的“低端集中、高端缺位”特征:多数本土企业受技术积累、研发投入等因素限制,资源与产能集中在中低端市场,竞争以成本和价格为主;而半导体等高端制造领域所需的高真空度、高稳定性真空泵,长期被国际巨头占据,本土企业在高端产品研发与市场份额上存在明显短板,导致高端产品依赖进口。这一结构性矛盾也直接体现在我国真空泵进出口产品结构上。
具体来看,2020-2024年间,我国真空泵进口量维持在220-280万台区间,而出口量显著高于进口,持续处于930-1160万台之间。然而,进出口产品结构存在本质差异:进口以高技术含量的高端产品为主,出口则集中于中低端领域,导致两者均价悬殊。进口均价始终保持在2300元/台以上,而出口均价一直低于400元/台。这既凸显出我国真空泵市场供给的显著不对称性,也反映出高端产品仍具有较大进口替代空间。
数据来源:海关总署、观研天下整理
数据来源:海关总署、观研天下整理
尽管出口量领先,但进出口均价的显著差距,使得我国真空泵行业长期处于贸易逆差状态。2020至2023年,我国真空泵贸易逆差额持续扩大,从34.64亿元增至57.84亿元。然而,自2024年起逆差迅速收窄,全年逆差额为21.37亿元,同比大幅下降49.05%;2025年1-7月进一步降至14.59亿元,较上年同期减少31.73%。与此同时,净出口量也在快速上升,2024年达到845.61万台,同比增长15.69%;2025年1-7月累计净出口653.35万台,同比增长29.89%。这一变化反映出国内企业正逐步实现技术突破,推动行业向高端化迈进。
数据来源:海关总署、观研天下整理(WJ)
综合来看,向高端化转型仍是我国真空泵行业未来最重要的发展方向。在半导体、光伏、锂电等战略新兴产业对高性能真空设备需求持续增长的背景下,突破高端技术、优化产品结构、提升国际竞争力,已成为行业实现高质量发展的关键路径。

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